真空泵機組振動異常，原因有很多，下面就一步步進行分析判斷。首先檢查是否由于機器本身及磁場偏心等原因造成。排除電機本身及磁場偏心等原因后，把真空泵與變速箱分開開機試驗，電機及變速箱振動異常無變化，由此初步判定電機和變速箱的振動來源于變速箱及聯軸器。根據經驗，重點測量和分析電機輸出端及變速箱高速軸后側兩個點。
邊頻帶往往隨故障的發展而上升，也是齒輪傳動中判斷故障所在部位的特征頻率。可能是齒輪有局部缺陷， 即相當于齒輪每轉一周產生一個脈沖激勵，嚙合頻率被一個短的故障脈沖所調制，兩側出現邊頻帶， 并因局部缺陷故障脈沖引起頻率突跳。由此可推斷高速軸齒輪出現局部點蝕磨損。更換變速箱并找正聯軸器后，真空泵機組振動明顯減弱。
在更換變速箱前，用百分表測量聯軸器不同軸度大于0.5mm，偏角大于15度，此為綜合不對中； 打開變速箱發現高速軸齒輪有五個齒面表層疲勞剝落，其中一個接觸面有接近一半脫落。兩個故障因素同時存在產生疊加效應，使得真空泵機組在運行時出現振動異常。
